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产品介绍 >> 激光干涉仪 |
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ADE移相Mini FIZ产品系列是一综合性的干涉仪家族,它可对高度抛光的光学或金属表面作精密的表面高程测量。从1992年开始引进,Mini
FIZ产品系列经过了不断改进,可提供多种可以选择的配置(图1-1)。Mini FIZ经过仔细设计,具备了探测亚纳米级的缺陷和不规则性所需的分辨率和重复性。这是普通的干涉仪很难解决的。
Mini FIZ产品系列具有下列特性和优点:
﹡广大的孔径范围
Mini FIZ提供了广大的孔径配置范围,包括12.5,50,100,150,和300mm的在内。还装有-4倍变焦镜头,使Mini
FIZ产品系列覆盖了96:1的孔径大小范围,并具备高质量成像能力。
﹡光学性能
Mini FIZX提供了高质量的成像,在表面高程图上能获得极为优良的空间细节,并获得宽大的角度倾斜范围。Mini
FIZ同时还提供了质量更好的光学系统,它的设计可减小反复跟踪的误差,即减小由于测试件与参考光的角度倾斜而产生的高程误差。
﹡相机性能
Minimize配有标准的656×482像素的视频成像器,也可提供1K×1K的成像器供需要对倾斜条纹多的相位测量使用。
﹡空间相干选购件
Mini FIZ可提供几种空间相干的配置,包括点光源,固定扩展和可变扩展光源。Mini FIZ的空间相干性可与测量要求相匹配,从而减小空间相干的噪音并可使用户探测到的表面高程特性是其它干涉仪不能探测到的。
﹡结构紧凑
Mini FIZ的紧凑设计大大增加了光学平台的空间供用户使用。
﹡移相选购件
传统的激光干涉仪均是用以PET为基础的驱动器移动参考传输平面镜的方法来移相的。这一技术对口径(300mm以及更大的)来说是太笨重了,并且在测试曲率半径短的光学表面时性能不佳。移相还可以通过调整激光波长的方法来获得,即人所共知的波长移动技术。Mini
FIZ供货时可以是以PET为基础的移相配置(12.5,50,100和150mm几种使用)也可提供波长移动的配置(供所有孔径使用)。
﹡激光波长选购
Mini FIZ供货时提供两种激光波长,即=632.8纳米和1064纳米。按用户要求还可提供其它的波长。
﹡更多的附件系统
整套的Mini FIZ附件也可提供,包括传输球面,转换工作台,光学件夹持器,和干涉仪安装硬件等等。
Mini FIZ干涉仪已经用于下列测试工作:
﹡单面光学平面的高程图(有微小楔形的零件)
﹡玻璃的相对厚度。
﹡不规则性较大质量差的镜片(塑料片)测量。
﹡镜片表面不规则性的测量。
﹡反射镜质量和平面性测量。
﹡精细刻尺抛光痕迹的探测。
﹡透过透镜或平面镜的波前测量(折射率不匀和表面变形测量)。
﹡半导体和MEMS表面测量。
﹡硬盘表面平度和波纹计量。
﹡角棱镜测量
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